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GRYLLS格里爾斯工藝空氣氮氣氣體質量流量計,0.5sccm – 6000 slm 全量程,采用無熱漂移,無響應滯后的差壓質量測量原理,無熱漂移,可以忽略的溫移和時漂,長期穩定性0.1%F.S/年,準確度1.0%,量程可在100:1范圍內按鍵設定,無需標定,可以同時顯示和輸出。
差壓式質量流量計5930DD4采用無熱漂移,無響應滯后的差壓質量測量原理,可以同時顯示和輸出:瞬時 流量、累計流量、壓力、溫度等。當需要控制功能時,還可以加裝電磁比例調節閥和內置PID 調節功能。 與熱式流量計不同,當使用氣體轉換系數時,GRYLLS-6600質量流量控制器沒有附加的“比熱容”誤差 。
差壓式液體流量計5950DD4采用毛細管傳熱前后溫度差量熱法原理測量氣體的質量流量,不受溫度壓力的影響。將傳感器測得的流量信號進行放大,然后與設定的電壓進行比較,用所得的差值去驅動控制調節閥門,閉環控制流過通道的流量使之與設定的流量相等。
差壓式氣體質量流量計5930D4由質量流量傳感器,層流分層件,流量控制器調節閥和放大控制電路組成,采用數字信號輸入輸出,具有預熱時間短,零漂小,可靠性高等特點。
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