GRYLLS-5901質量流量計由質量流量傳感器,層流分層件,流量控制器調節閥和放大控制電路組成,采用數字信號輸入輸出,具有預熱時間短,零漂小,可靠性高等特點。
GRYLLS氣體消耗測量 差壓式質量流量計,0.5sccm – 6000 slm 全量程 采用無熱漂移,無響應滯后的差壓質量測量原理,無熱漂移,可以忽略的溫移和時漂,長期穩定性0.1%F.S/年,準確度1.0%,量程可在100:1范圍內按鍵設定,無需標定,可以同時顯示和輸出。
差壓式氣體質量流量計5910DD4用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制。它們在半導體和集成電路工業、特種材料學科、化學工業、石油工業、醫藥、環保和真空燈多種領域的科研和生產中有著重要的作用。
耐腐蝕質量流量計GRYLLS 6610與熱式流量計不同,當使用氣體轉換系數時,沒有附加的“比熱容“誤差。所以,即使測量氣體與出廠時的標定氣體不同,也不會影響測量精度。
格里爾斯5951微小流量質量流量計由質量流量傳感器,層流分層件,流量控制器調節閥和放大控制電路等部件組成,它利用流動流體傳遞熱量改變測量毛細管壁溫度分布的熱傳導分布效應而制成
微小流量質量流量計質量流量控制器由質量流量傳感器,層流分層件,流量控制器調節閥和放大控制電路等部件組成。它利用流動流體傳遞熱量改變測量毛細管壁溫度分布的熱傳導分布效應而制成。
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