氣體流量控制器支持數字量輸入/輸出,設備自體可帶多功能觸摸顯示屏，亦可采用流量計算機控制和顯示流量，可以提供帶有可選配的多介質/多量程的功能。

GRYLLS 5950系列高精度質量流量控制器參數 0.5sccm – 6000 slm 全量程Grylls5950系列質量流量控制器支持數字量輸入/輸出,設備自體可帶多功能觸摸顯示屏，亦可采用流量計算機控制和顯示流量，可以提供帶有可選配的多介質/多量程的功能。

GRYLLS格里爾斯氣體測試質量流量控制器 采用熱式原理，預熱時間短，精度高，零飄小，管狀分流，不易堵塞，適用于各種低壓和高壓管道，流量可達6000SLM,并可實現數字/模擬控制模式，產品采用高速控制算法，0.5sccm – 6000 slm 全量程，支持數字量輸入/輸出,設備自體可帶操控按鍵和顯示屏。

Grylls格里爾斯熱式質量流量控制器，熱式原理， 0.5sccm – 6000 slm 全量程，支持數字量輸入/輸出,設備自體可帶操控按鍵和顯示屏，亦可采用流量計算機控制和顯示流量，可以提供帶有可選配的多介質/多量程的功能。預熱時間短，精度高，零飄小，管狀分流，不易堵塞，適用于各種低壓和高壓管道，流量可達6000SLM,并可實現數字/模擬控制模式。

格里爾斯質量流量控制器用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制，在半導體和集成電路工業、特種材料學科、化學工業、石油工業、醫藥、環保和真空燈多種領域的科研和生產中有著重要的作用。其典型的應用場合包括：電子工藝設備，如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統、毛細管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器。

氣體質量流量控制器采用毛細管傳熱前后溫度差量熱法原理測量氣體的質量流量，不受溫度壓力的影響。將傳感器測得的流量信號進行放大，然后與設定的電壓進行比較，用所得的差值去驅動控制調節閥門，閉環控制流過通道的流量使之與設定的流量相等。