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GRYLLS通用型質量流量控制器,GRYLLS-31系列數字型質量流量計/控制器由質量流量傳感器,層流分層件,流量控制器調節閥和放大控制電路組成,采用數字信號輸入輸出,具有預熱時間短,零漂小,可靠性高等特點。
數字量氣體流量控制器用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制。它們在半導體和集成電路工業、特種材料學科、化學工業、石油工業、醫藥、環保和真空燈多種領域的科研和生產中有著重要的作用。
GRYLLS6601差壓式質量流量計參數0.5sccm – 6000 slm 全量程采用無熱漂移,無響應滯后的差壓質量測量原理,無熱漂移,可以忽略的溫移和時漂,長期穩定性0.1%F.S/年,準確度1.0%,量程可在100:1范圍內按鍵設定,無需標定,可以同時顯示和輸出:瞬時 流量、累計流量、壓力、溫度等。
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